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  • 非接触式晶圆厚度测量系统
    非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度极佳的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。
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  • 非接触式晶圆粗糙度测量系统
    •阶梯式测量,还原接触测量真实结果; •直线电机高精度龙门运动机构; •兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量;•气浮龙门平台确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性; •兼容最大360mm陶瓷盘(5-7pcs样品); •晶圆的测量厚度范围为5um-1mm; •抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架; •含视觉自动定位系统; •可自...
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